螺纹综合测量机采用接触式扫描原理，螺纹中径的测量不确定度要达到（2.5+L/200）um，一台结构比较复杂的精密测量仪器，是如何达到这一测量精度的呢？其重要技术之一，就是通过T型高精密气浮轴承系统驱动测针与被测螺纹进行接触扫描（T型气浮导轨运动平台包含垂直轴Z和水平轴X气浮导轨系统），这是实现螺纹轴向轮廓精确扫描的基础。
气浮导轨实物
螺纹综合测量机采用无磨损、超低摩擦力的高精度T型气浮导轨系统，保证系统稳定、可靠地工作。创新设计的气浮轴承正负压控制系统，自主研发的超精密花岗岩导轨加工、气浮轴承加工工艺，为气浮轴承系统提供非常高的气膜刚性，导轨无磨损、超低摩擦力，实现了测量系统的重复定位精度高、使用寿命长、稳定性好等特点。
正交的（X轴和Z轴）气浮系统示意图
高精度气浮系统可达到如下测量精度：
- 行走线性精度1um；
- 重复定位精度0.3um；
中图螺纹综合测量机与进口仪器导轨系统的区别
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创新点 |
进口仪器 |
中图螺纹综合测量机 |
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导轨系统 |
气浮垫结构，安装复杂，其安装框架，采用非整体式铝型材，系统刚性差。气膜间隙较小，低温易抱死；且温度变化较大时，易气震。 |
采用相对刚性较好的气浮滑套型式，降低系统的安装调试难度，提高仪器的环境适应性 |